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转轮除湿机在半导体行业中应用分析

转轮除湿机的工作原理。工业 转轮除湿机以其显著的节能和环保优势,被公认为21世纪替代压缩制冷除湿的首 选技术之一。该机能快速、简单、有效地降低空气湿度,有效解决常温低湿、低温低湿等其他冷冻方法无法达到的除湿领域。特别是经过配套组合处理后,空气露点可达-70℃以下;此外,工业余热、废热、太阳能、天然气等低品位热能可作为可再生能源,无环境污染,能耗低。

半导体工业中的湿度要求半导体生产厂在一年四季的气候条件下保持生产车间的稳定环境,尤其对生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织、压力平衡等空调参数提出了严格的要求。不同于其他恒温恒湿环境系统的要求,由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其质量的影响,对湿度精度提出了严格的要求。

对于空调系统的配置,要求系统在夏季同时具备除湿功能和冬季加湿功能。一般来说,半导体生产行业的温度和湿度条件为:t = 22±2°c,相对湿度= 45±5。对于这种温度和湿度要求,冷冻除湿然后加热(再加热)传统上用于处理,并且已经取得了某些结果。然而,这种方式存在着致命的问题,冷热的抵消和能源消耗的巨大浪费,特别是由于半导体行业新鲜空气大、排气系统大、生产环境清洁空间大,以及许多工厂主要分布在华南和华东的特殊情况,使得这个问题非常突出。

根据不同的产品和生产工艺场合、房间大小、热量和水分耗散、温度和湿度要求、清洁度要求等进行选型。在进行选型设计时,有必要进行清楚的咨询。